[实用新型]一种单晶炉热场石墨件清理打磨平台有效
申请号: | 201922480295.8 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN211709014U | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 常瑞新;娄中士;李睿;马飞;李鹏飞;袁长宏;田旭东;田宇翔 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
主分类号: | B24B41/02 | 分类号: | B24B41/02;B24B55/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型提供一种单晶炉热场石墨件清理打磨平台,包括箱体式抽风面罩、箱体式操作台面、可活动接杂质抽屉,所述箱体式操作台面与所述箱体式抽风面罩可拆卸连接;所述可活动接杂质抽屉可拆卸设置于所述箱体式操作台面的底部。本实用新型的单晶炉热场石墨件清理打磨平台,具有可拆卸式的抽风面罩、操作台面和杂质抽屉,清理打磨石墨件产生的粉尘经集中抽风系统抽吸,大颗粒杂质掉入杂质抽屉中,避免粉尘飞扬、污染工作坏境。该清理打磨平台通过四氟材料对石墨件进行隔离,避免了与金属直接接触;粉尘和大颗粒杂质分开处理,降低了吸尘管路堵塞的风险,有效地改善了热场清理打磨的工作坏境,保持环境洁净度,提高工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉热场 石墨 清理 打磨 平台 | ||
【主权项】:
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