[实用新型]一种用于降低单晶电阻率的重掺掺杂装置有效
| 申请号： | 201922469893.5 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211713251U | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 侯明超;王淼;贾海洋;张强;娄中士;李仕权 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/04 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于降低单晶电阻率的重掺掺杂装置，包括用于置放掺杂剂的放置筒和用于固定所述放置筒的防护罩，所述放置筒置于所述防护罩内侧；所述放置筒下端面为平面，在所述放置筒下端面至少设有一组通孔；被熔化的掺杂剂穿过所述通孔再经所述防护罩内侧并沿所述防护罩下端面与硅熔液充分混合。本实用新型一种用于降低单晶电阻率的重掺掺杂装置，结构简单，掺杂装置稳定不易晃动，提高掺杂装置下端面与熔硅液面的接触面积，扩大掺杂剂与硅熔液接触的面积，使掺杂剂充分与熔硅混合，进而提高掺杂效率，降低单晶硅棒的电阻率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 降低 电阻率 掺掺 装置 | ||
【主权项】：
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