[实用新型]一种不易变形的链式刻蚀机送料机构

摘要

本实用新型公开了一种不易变形的链式刻蚀机送料机构，链式刻蚀机包括有刻蚀槽，送料机构安装在刻蚀槽中，送料机构包括有若干依次间隔连接的送料单元，每个送料单元包括有若干辊筒以及位于辊筒两侧的支撑板，支撑板包括有固定在刻蚀槽底面上的底座部分和与底座部分一体连接的挡板部分，辊筒的两端分别可转动的安装在挡板部分，辊筒的一端穿过挡板部分后固定安装有齿轮，齿轮通过驱动机构驱动转动，相邻送料单元之间通过位于送料单元两侧的连接板固定连接。本实用新型可以有效减少送料机构因变形造成的水平异常情况，相邻两个送料单元之间互相牵连，不易变形，提高硅片刻蚀过程输送的稳定性，提高刻蚀效果。