[实用新型]一种不易变形的链式刻蚀机送料机构

说明书

本实用新型公开了一种不易变形的链式刻蚀机送料机构，链式刻蚀机包括有刻蚀槽，送料机构安装在刻蚀槽中，送料机构包括有若干依次间隔连接的送料单元，每个送料单元包括有若干辊筒以及位于辊筒两侧的支撑板，支撑板包括有固定在刻蚀槽底面上的底座部分和与底座部分一体连接的挡板部分，辊筒的两端分别可转动的安装在挡板部分，辊筒的一端穿过挡板部分后固定安装有齿轮，齿轮通过驱动机构驱动转动，相邻送料单元之间通过位于送料单元两侧的连接板固定连接。本实用新型可以有效减少送料机构因变形造成的水平异常情况，相邻两个送料单元之间互相牵连，不易变形，提高硅片刻蚀过程输送的稳定性，提高刻蚀效果。

技术领域

本实用新型属于链式刻蚀机技术领域，具体涉及一种不易变形的链式刻蚀机送料机构。

背景技术

晶硅太阳能电池生产过程包括有制绒-扩散-刻蚀-PECVD镀膜-丝网印刷-测试分选等，刻蚀工序的作用是去掉硅片背面和硅片侧面的PN结，达到正面与背面绝缘的目的，所采用的设备一般是链式刻蚀机。现有的链式刻蚀机虽然是放置在恒温车间中，但是刻蚀槽两端的支架在辊筒转动的动力作用以及刻蚀反应产生的温度变化作用下还是容易变形，导致输送硅片的辊筒水平异常，辊筒之间高度发生错位，进而导致硅片在输送时不稳定，影响硅片的刻蚀效果。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种不易变形的链式刻蚀机送料机构，所述链式刻蚀机包括有刻蚀槽，送料机构安装在刻蚀槽中，所述送料机构包括有若干依次间隔连接的送料单元，每个送料单元包括有若干相互平行的辊筒以及位于辊筒两侧的支撑板，支撑板包括有固定在刻蚀槽底面上的底座部分和与底座部分一体连接的挡板部分，辊筒的两端分别可转动的安装在挡板部分，辊筒的一端穿过挡板部分后固定安装有齿轮，齿轮通过驱动机构驱动转动，相邻送料单元之间通过位于送料单元两侧的连接板固定连接。

作为上述技术方案的优选，所述连接板包括有嵌入部和位于嵌入部两侧的安装耳构成，底座部分的两端分别设有卡槽，相邻两个底座部分的卡槽拼接形成供嵌入部嵌入的连接槽，嵌入部嵌入连接槽后安装耳分别与底座部分通过螺栓连接。

作为上述技术方案的优选，所述支撑板的上端设有若干溢流口，溢流口与辊筒一一对应。

作为上述技术方案的优选，所述相邻溢流口之间形成凸柱，相邻支撑板之间通过固定套连接，固定套套在两个支撑板上相互靠近的两个凸柱上。

作为上述技术方案的优选，所述螺栓、固定套与支撑板的材质相同。

作为上述技术方案的优选，所述驱动机构包括有由电机驱动转动的齿轮轴，齿轮轴垂直于辊筒，齿轮轴上安装有若干第一锥形齿轮，辊筒固定安装的齿轮为第二锥形齿轮，第一锥形齿轮与第二锥形齿轮一一对应，第一锥形齿轮与对应的第二锥形齿轮齿合。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的链式刻蚀机送料机构，可以有效减少送料机构因变形造成的水平异常情况，相邻两个送料单元之间互相牵连，不易变形，提高硅片刻蚀过程输送的稳定性，提高刻蚀效果。

附图说明

图1是本实用新型的截面示意图；

图2是本实用新型另一角度的截面示意图；

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。