[实用新型]一种可调式离子源用中和器有效
| 申请号： | 201922430506.7 | 申请日： | 2019-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN211719555U | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 安建昊;唐欢欢 | 申请（专利权）人： | 江苏普拉斯玛机械有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可调式离子源用中和器，包括离子源和设置在离子源正前端的真空室，真空室内的两侧分别设有中和器，中和器的中下部铰接支撑杆的一端，支撑杆的另一端固定在真空室的内侧壁上，中和器的下端铰接推拉杆的一端，推拉杆的另一端固接在气动伸缩杆的伸缩端，气动伸缩杆的固定端上包裹有隔热层，气动伸缩杆的固定端穿过真空室的侧壁，隔热层与真空室的侧壁间隙之间安装有金属密封件。本实用新型中和器与离子源分开，且能够调整中和器的位置，中和器寿命长，中和的效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调式 离子源 中和 | ||
【主权项】：
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