[实用新型]一种可调式离子源用中和器

说明书

本实用新型公开了一种可调式离子源用中和器，包括离子源和设置在离子源正前端的真空室，真空室内的两侧分别设有中和器，中和器的中下部铰接支撑杆的一端，支撑杆的另一端固定在真空室的内侧壁上，中和器的下端铰接推拉杆的一端，推拉杆的另一端固接在气动伸缩杆的伸缩端，气动伸缩杆的固定端上包裹有隔热层，气动伸缩杆的固定端穿过真空室的侧壁，隔热层与真空室的侧壁间隙之间安装有金属密封件。本实用新型中和器与离子源分开，且能够调整中和器的位置，中和器寿命长，中和的效率高。

技术领域

本实用新型属于离子束技术领域，具体涉及一种可调式离子源用中和器。

背景技术

离子源的阴极发出的电子束被射入经磁化的电离室中，与充在室中的气体原子碰撞，使原子电离成一价正离子，而后经过加速电场，可将离子加速并排出。

离子持续喷射出正离子束，而带有负电荷的电子会留在电离室中，进而会在电离室中形成强大的负电场，导致正离子的继续排出严重受限，而若电子积累足够多的话，甚至会将排出的正离子再吸引回来，导致离子源无法正常工作。

而一般的离子源中会设置有中和器来中和电子，使得电离室中无法形成强大的负电场，保证正离子顺利的排出，但是离子源的中和器平行架设在栅网前方，受离子束强烈轰击，寿命短，维护更换不方便，但是若中和器远离离子源的正前方则会导致中和器对电子中和的效率低，进而导致有部分电子会留在电离室，影响正离子顺利的排出。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型提供一种可调式离子源用中和器，中和器与离子源分开，且能够调整中和器的位置，中和器寿命长，中和的效率高。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种可调式离子源用中和器，包括离子源和设置在离子源正前端的真空室，所述真空室内的两侧分别设有中和器，所述中和器的中下部铰接支撑杆的一端，所述支撑杆的另一端固定在所述真空室的内侧壁上，所述中和器的下端铰接推拉杆的一端，所述推拉杆的另一端固接在所述气动伸缩杆的伸缩端，所述气动伸缩杆的固定端上包裹有隔热层，所述气动伸缩杆的固定端穿过所述真空室的侧壁，所述隔热层与所述真空室的侧壁间隙之间安装有金属密封件。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型采用中和器与离子源分开的设计，避免受离子束强烈轰击，寿命长；通过气动伸缩杆推拉动中和器的下端，进而调整中和器的角度位置，提高中和的效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

附图中：1.离子源；2.真空室；3.中和器；4.支撑杆；5.推拉杆；6.气动伸缩杆；7.隔热层；8.金属密封件。

具体实施方式

如说明书附图中图1所示的一种可调式离子源用中和器，包括离子源1和设置在离子源1正前端的真空室2，真空室2内的两侧分别设有中和器3，中和器3的中下部铰接支撑杆4的一端，支撑杆4的另一端固定在真空室2的内侧壁上，中和器3的下端铰接推拉杆5的一端，推拉杆5的另一端固接在气动伸缩杆6的伸缩端，气动伸缩杆6的固定端上包裹有隔热层7，气动伸缩杆6的固定端穿过真空室2的侧壁，隔热层7与真空室2的侧壁间隙之间安装有金属密封件8。

支撑杆4、推拉杆5及气动伸缩杆6的伸缩端外侧壁上涂有耐高温的涂层，能够避免高温的作用。

本实用新型采用中和器与离子源分开的设计，避免受离子束强烈轰击，寿命长；通过气动伸缩杆推拉动中和器的下端，进而调整中和器的角度位置，提高中和的效率；采用双中和器，进一步提高中和效果。

综上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型实施的范围，凡依本实用新型权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本实用新型的权利要求范围内。