[实用新型]MEMS麦克风及电子装置有效
| 申请号： | 201922429487.6 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN210986419U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 王景雪 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R3/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 王迎;袁文婷 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS麦克风及电子装置，其中的MEMS麦克风包括具有背腔的衬底以及绝缘设置在衬底上的振膜；振膜包括固定在衬底上的支撑部以及位于支撑部内且悬设在背腔中的感应部；并且，在支撑部与感应部的结合处设置有应力宣泄部。利用上述实用新型，能够通过应力宣泄部抵消部分封装应力，减少封装对振膜造成的影响。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 电子 装置 | ||
【主权项】：
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