[实用新型]一种离子源新型阴极结构有效
| 申请号： | 201922421230.6 | 申请日： | 2019-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN211125565U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 安建昊;唐欢欢 | 申请（专利权）人： | 江苏普拉斯玛机械有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子源新型阴极结构，包括六硼化镧阴极、套杯和阳极，六硼化镧阴极安装在套杯内中心处，套杯前端套设有中心开设有锥形通孔的阳极，阳极锥形通孔的表面均匀分布有三棱锥，阳极锥形通孔的表面涂有一层金属层，阳极上非接触固定有栅极。本实用新型使得阴极电流输出稳定，波动小，且大小可控，阳极锥形通孔的表面无法形成致密的绝缘层，延长了维护周期，降低了作业人员的工作量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 新型 阴极 结构 | ||
【主权项】：
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