[实用新型]一种离子源新型阴极结构有效
| 申请号： | 201922421230.6 | 申请日： | 2019-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN211125565U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 安建昊;唐欢欢 | 申请（专利权）人： | 江苏普拉斯玛机械有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 新型 阴极 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子源新型阴极结构，其特征在于：包括六硼化镧阴极(1)、套杯(2)和阳极(3)，所述六硼化镧阴极(1)安装在所述套杯(2)内中心处，所述套杯(2)前端套设有中心开设有锥形通孔的阳极(3)，所述阳极(3)锥形通孔的表面均匀分布有三棱锥(5)，所述阳极(3)锥形通孔的表面涂有一层金属层(4)，所述阳极(3)上非接触固定有栅极(6)。
2.根据权利要求1所述的一种离子源新型阴极结构，其特征在于：所述套杯(2)为六硼化镧材料制成。
3.根据权利要求1所述的一种离子源新型阴极结构，其特征在于：所述栅极(6)采用金属栅网结构。
4.根据权利要求1所述的一种离子源新型阴极结构，其特征在于：所述金属层(4)为金属钨层。
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