[实用新型]一种平面靶材区分加热装置有效
| 申请号： | 201922413617.7 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN211406309U | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 蔺裕平;王海琴 | 申请（专利权）人： | 梭莱镀膜工业(江阴)有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/22 | 分类号： | H05B3/22;H05B3/02 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王凯 |
| 地址： | 214437 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型一种平面靶材区分加热装置，机箱(1)的顶板上均匀设置有多个冷却风通孔(1.1)，所述机箱(1)内设置的内隔板(2)将机箱(1)内的腔体分割为相互独立的上腔室和下腔室，且上腔室内设置都有多个分区挡板(3)将上腔室分隔为相互独立的多个风腔，上述冷却风通孔(1.1)分别与多个风腔相连通，所述机箱(1)的顶板上通过多条支撑板(4)支撑有加热板(5)，所述加热板(5)内嵌置有多条下隔热条(5.1)构成多个相互独立的加热区，且加热板(5)内均匀设置有多个电加热元件(5.2)。本实用新型一种平面靶材区分加热装置，其能够同时多种不同温度需求的加料进行加温，从而极大的提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 区分 加热 装置 | ||
【主权项】：
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