[实用新型]一种平面靶材区分加热装置

权利要求书

1.一种平面靶材区分加热装置，其特征在于：所述装置包含有机箱(1)，所述机箱(1)的顶板上均匀设置有多个冷却风通孔(1.1)，所述机箱(1)内设置的内隔板(2)将机箱(1)内的腔体分割为相互独立的上腔室和下腔室，且上腔室内设置都有多个分区挡板(3)将上腔室分隔为相互独立的多个风腔，上述冷却风通孔(1.1)分别与多个风腔相连通，所述内隔板(2)上设置有多个控制阀(1.2)，且多个控制阀(1.2)多个风腔一一对应，风机(1.3)的出风端经管路连通至控制阀(1.2)；

所述机箱(1)的顶板上通过多条支撑板(4)支撑有加热板(5)，所述加热板(5)内嵌置有多条下隔热条(5.1)构成多个相互独立的加热区，上述支撑板(4)位于下隔热条(5.1)的下方，且加热板(5)内均匀设置有多个电加热元件(5.2)，所述加热板(5)上铺设有工作台(6)。

2.如权利要求1所述一种平面靶材区分加热装置，其特征在于：所述工作台(6)内嵌置有多条上隔热条(6.1)将工作台(6)分隔为多个受热工作区，且受热工作区与加热区一一对应，受热工作区位于加热区的上方。

3.如权利要求1所述一种平面靶材区分加热装置，其特征在于：所述风机(1.3)设置有多个，多个风机(1.3)分别经管路与多个控制阀(1.2)一一对应相连通；或者风机(1.3)设置有一个，上述多个控制阀(1.2)经管路汇总至该风机(1.3)的进风端。

4.如权利要求1所述一种平面靶材区分加热装置，其特征在于：所述机箱(1)的箱壁上设置有进风格栅，且进行格栅与下腔室相连通。