[实用新型]光掩模板贴膜压合用模具头及蒙贴装置

摘要

本实用新型公开一种光掩模板贴膜压合用模具头及具有该模具头的蒙贴装置，所述模具头包括：压板，所述压板的下表面设有第一压力组件与第二压力组件，所述第一压力组件和第二压力组件分别环绕于所述压板的下表面，所述第一压力组件、第二压力组件之间的空隙构成压力接触部；所述压力接触部的形状与所述掩模板保护膜的框架相匹配。它旨在解决掩模板保护膜蒙贴至光掩模板过程中掩模板保护膜框架受力不均的问题。