[实用新型]一种光学薄膜加工用的厚度检测装置有效
| 申请号: | 201922342276.9 | 申请日: | 2019-12-23 |
| 公开(公告)号: | CN211121141U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
| 发明(设计)人: | 刘凌松;陈国彦;罗国星;李朋辉;伍梓辉;周培;李松 | 申请(专利权)人: | 深圳正和捷思科技有限公司 |
| 主分类号: | G01B21/08 | 分类号: | G01B21/08 |
| 代理公司: | 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 | 代理人: | 邓爱军 |
| 地址: | 518117 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及薄膜加工技术领域,且公开了一种光学薄膜加工用的厚度检测装置,包括装置台体,所述装置台体的一侧设置有侧板,且侧板靠近装置台体的一侧滑动连接有活动块,所述装置台体的表面开设有与活动块相匹配的凹槽,所述装置台体远离侧板的一侧设置有支撑座,且支撑座的上表面通过多个第一连接杆固定连接有倾斜板体,且倾斜板体的下端与装置台体的上端侧壁固定连接,该种光学薄膜加工用的厚度检测装置,通过引入具有较小倾斜角度的倾斜板体,使得薄膜的厚度放大为活动块距离凹槽的高度以及滑块沿倾斜板体滑动距离等较大的数值进行计算,由此实现较大刻度测量装置对厚度较小的薄膜的计算。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 光学薄膜 工用 厚度 检测 装置 | ||
【主权项】:
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