[实用新型]一种金属膜无针孔镀膜装置有效
| 申请号： | 201922311912.1 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN211689198U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 芦亚东;朱小龙;孙志强;曹强 | 申请（专利权）人： | 南阳英锐光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/02;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 | 代理人： | 王帆 |
| 地址： | 473000 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种金属膜无针孔镀膜装置，包括超净工作台本体，所述超净工作台本体顶部设有FFU滤机，所述超净工作台本体内设有镀膜盘，所述镀膜盘底面卡装有待镀膜零件，所述超净工作台本体内镀膜盘的下方设有擦拭系统，所述超净工作台本体一侧设有离子风机。本实用新型结构简单紧凑、制造成本低，在镀膜中不仅避免了待镀膜零件表面针孔现象的发生，更大大提高了金属膜层的牢固度，使零件能经受高低温等各项严酷环境的检验。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属膜 针孔 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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