[实用新型]一种溅射靶材熔融液体搅拌装置有效
| 申请号： | 201922302891.7 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN211562633U | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 邢伟亮 | 申请（专利权）人： | 中诺新材（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | B01F7/18 | 分类号： | B01F7/18;B01F15/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人： | 吴怀权 |
| 地址： | 100089 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种溅射靶材熔融液体搅拌装置，包括：升降机构，升降机构包括螺纹杆、与螺纹杆连接的第一电机和与螺纹杆相配合螺接的螺纹管；导向机构，导向机构包括滑槽，螺纹管能够通过滑槽上下滑动；吊装机构，吊装机构包括主支架和与主支架固定连接的吊篮，主支架包括套筒，套筒与螺纹管转动连接；搅拌机构，搅拌机构包括第二电机、与第二电机连接的搅拌棍和与第二电机螺接的电机支架，电机支架与吊篮固定连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 熔融 液体 搅拌 装置 | ||
【主权项】：
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