[实用新型]一种溅射靶材熔融液体搅拌装置

权利要求书

1.一种溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，包括：

升降机构，所述升降机构包括螺纹杆、与所述螺纹杆连接的第一电机和与所述螺纹杆相配合螺接的螺纹管；

导向机构，所述导向机构包括滑槽，所述螺纹管能够通过所述滑槽上下滑动；

吊装机构，所述吊装机构包括主支架和与所述主支架固定连接的吊篮，所述主支架包括套筒，所述套筒与所述螺纹管转动连接；

搅拌机构，所述搅拌机构包括第二电机、与所述第二电机连接的搅拌棍和与所述第二电机螺接的电机支架，所述电机支架与所述吊篮固定连接。

2.根据权利要求1所述的溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，所述导向机构还包括滑块和固定套，所述固定套与所述螺纹管焊接，所述滑块与所述固定套通过螺栓连接，所述滑块能够在所述滑槽内滑动。

3.根据权利要求1所述的溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，所述主支架还包括吊板支架，所述吊板支架与所述套筒一体成型，所述吊篮与所述吊板支架焊接。

4.根据权利要求3所述的溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，所述套筒内安装有与所述套筒同轴的滑动轴承，所述螺纹管的一端插设有与所述螺纹管同轴的光轴，所述套筒通过所述滑动轴承套设在所述光轴外。

5.根据权利要求3所述的溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，所述吊篮包括连接杆和托板，所述连接杆的一端与所述吊板支架焊接，所述连接杆的另一端与所述托板焊接。

6.根据权利要求5所述的溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，所述电机支架包括第一支板和第二支板，所述第一支板与所述第二支板通过连接板连接，所述第一支板与所述托板通过螺栓连接，所述第二支板与所述第二电机通过螺栓连接，所述第一支板与所述第二支板之间还设有搅拌轴承座装置。

7.根据权利要求6所述的溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，所述搅拌轴承座装置包括第一底座、旋转轴承和第二底座，所述第一底座与所述第一支板焊接，所述旋转轴承的一端与所述第一底座相抵接，所述旋转轴承的另一端与所述第二底座螺接。

8.根据权利要求7所述的溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于，所述旋转轴承通过固定杆与所述连接杆固定连接。