[实用新型]一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置有效
申请号: | 201922299585.2 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN211249391U | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 马红彬;宛鹏 | 申请(专利权)人: | 河南雅利安新材料有限公司 |
主分类号: | B24B7/07 | 分类号: | B24B7/07;B24B27/00;B24B41/06;B24B41/02;B24B47/00 |
代理公司: | 成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51248 | 代理人: | 张勋 |
地址: | 450000 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置,涉及半导体加工技术领域,与传统的平面磨床用工件固定装置相比,该可调节固定装置包括托盘、基座和水槽。水槽设置有用于微调托盘位置的推动件和调节螺纹件。随着调节螺纹件的旋入可以改变托盘在水槽宽度方向上的位置,而推动件则用于将托盘夹紧。托盘和基座之间还通过第一滑槽和滑块实现滑动配合,这种配合方式实现了托盘和基座的可拆卸连接,并且使得托盘只能在基座的宽度方向上相对滑动,从而在整个可调节固定装置做往复运动时能保持较好的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 碳化硅 打磨 加工 调节 固定 装置 | ||
【主权项】:
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