[实用新型]一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置

说明书

一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置，涉及半导体加工技术领域，与传统的平面磨床用工件固定装置相比，该可调节固定装置包括托盘、基座和水槽。水槽设置有用于微调托盘位置的推动件和调节螺纹件。随着调节螺纹件的旋入可以改变托盘在水槽宽度方向上的位置，而推动件则用于将托盘夹紧。托盘和基座之间还通过第一滑槽和滑块实现滑动配合，这种配合方式实现了托盘和基座的可拆卸连接，并且使得托盘只能在基座的宽度方向上相对滑动，从而在整个可调节固定装置做往复运动时能保持较好的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体而言，涉及一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置。

背景技术

平面磨床是磨床的一种，主要用砂轮旋转研磨工件以使其可达到要求的平整度。在工业生产过程中，为了提高生产效率，对于碳化硅技工领域，由于工件尺寸较小，通常会将多个工件摆放在一起集中打磨。在这时候，通常采用石蜡将多个小工件固定在同一个托盘上，随着托盘的往复运动，多个小工件轮流经过砂轮下方，即可实现利用一个砂轮对多个工件进行打磨。

实际生产中，工件通常摆放成阵列，但由于平面磨床的工作原理，其只能对托盘长度方向上的一列进行打磨，打磨完成后再调整打磨装置的位置对下一列进行打磨。调节打磨装置的位置不仅比较麻烦，而且不是很直观，容易出现细微的偏差，导致两列之间出现部分区域未能打磨到。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置，其结构简单，使用方便，可以通过对托盘的位置进行微调，来进行位置修正，确保打磨的效果。

本实用新型的实施例是这样实现的：

一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置，包括：

托盘，托盘的底部设置有第一滑槽，第一滑槽沿托盘的宽度方向设置；

基座，基座的上表面凸设有滑块，托盘与基座为可拆卸连接，当托盘与基座连接时，滑块滑动嵌设于第一滑槽内，使得滑块可沿第一滑槽滑动；

水槽，基座位于水槽内，基座宽度方向上的两侧与水槽的槽壁连接，水槽的槽壁上靠近槽底的位置设置有排水管，排水管贯穿水槽的槽壁与水槽内部连通；水槽包括长度方向上两侧的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁设置有推动件，推动件与第一侧壁之间通过弹性件弹性连接；第二侧壁设置有调节螺纹件，调节螺纹件沿水槽的宽度方向贯穿第二侧壁，并与第二侧壁螺纹配合；推动件和调节螺纹件的高度略高于基座，在托盘与基座配合时，推动件和调节螺纹件可分别由托盘长度方向上的两侧施加作用力；水槽的底部设置有第二滑槽，第二滑槽与平面磨床的导轨滑动配合。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，推动件为长条状，推动件沿水槽的长度方向设置。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，推动件的厚度与托盘的厚度相当。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，弹性件包括沿推动件长度方向间隔设置多个弹簧。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，推动件面向第一侧壁的一侧设置有多个导向杆，多个导向杆与多个弹簧一一对应，每个导向杆均设置于弹簧内部，并沿水槽的宽度方向贯穿第一侧壁。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，调节螺纹件包括螺杆，螺杆在水槽外的一端设置有手持部。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，螺杆在水槽内的一端设置有由缓冲材料制成的缓冲垫。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，托盘的上表面凹设有容置槽。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，容置槽的槽壁为斜面，使得容置槽的槽底在槽口所处平面上的正投影，位于槽口的范围内。