[实用新型]一种基于芯片加工的晶圆喷胶机构有效

专利信息
申请号: 201922274251.X 申请日: 2019-12-18
公开(公告)号: CN210778510U 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 王小波;王波;田光明 申请(专利权)人: 无锡科瑞泰半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江苏省无锡市新吴区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种基于芯片加工的晶圆喷胶机构,包括顶板,所述顶板的上端中部连接有挤出头,所述挤出头的下端连接有储存腔,所述储存腔的下端连接有挤出腔,所述顶板的下端两侧分别连接有气缸,所述气缸的输出端连接有安装板,所述安装板的下端两侧分别连接有推杆,所述推杆的下端贯穿至挤出腔的内部连接有过滤装置;本实用新型胶水通过挤出头进入储存腔再进入挤出腔,然后被挤出出胶管中,通过气缸推动安装板带动推杆在挤出腔中移动,挤出腔中的胶水则被挤压板挤压,然后进入过滤孔被过滤网过滤后,从出胶管中喷出,胶水中的空气则被过滤网过滤掉,使得出胶管中喷出的胶中含的气泡量得到减少,提高了喷胶的质量。
搜索关键词: 一种 基于 芯片 加工 晶圆喷胶 机构
【主权项】:
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