[实用新型]近空间升华装置

摘要

本实用新型提供了一种近空间升华装置。该近空间升华装置包括：腔体；相对设置的第一盒体和第二盒体，所述第一盒体和所述第二盒体均设置于所述腔体的内部，所述第一盒体用于承载衬底基板，所述第二盒体用于承载蒸发源材料；冷却单元，所述冷却单元包括冷却管，所述冷却管设置在所述第一盒体中，所述冷却单元被配置为可对所述衬底基板进行冷却。本实用新型的近空间升华装置，通过在第一盒体中设置冷却管，可以较好地控制第一盒体的温度，进而可以控制衬底基板的温度，衬底基板的温度不易受第二盒体温度的影响，该装置可以较好地控制反应速率，该装置制备的薄膜厚度均匀，质量较好。