[实用新型]近空间升华装置

权利要求书

1.一种近空间升华装置，其特征在于，包括：

腔体；

相对设置的第一盒体和第二盒体，所述第一盒体和所述第二盒体均设置于所述腔体的内部，所述第一盒体用于承载衬底基板，所述第二盒体用于承载蒸发源材料；

冷却单元，所述冷却单元包括冷却管，所述冷却管设置在所述第一盒体中，所述冷却单元被配置为可对所述衬底基板进行冷却。

2.根据权利要求1所述的近空间升华装置，其特征在于，所述第一盒体包括第一盒体本体以及固定机构，所述固定机构用于将所述衬底基板固定在所述第一盒体本体朝向所述第二盒体一侧的表面；

所述冷却管设置在所述第一盒体本体的内部。

3.根据权利要求2所述的近空间升华装置，其特征在于，所述固定机构包括多个固定柱以及和所述固定柱相配合的固定卡套，所述固定柱设置在所述第一盒体本体的边缘，所述固定卡套上具有固定孔，所述固定孔和所述固定柱相互配合，用于将所述衬底基板固定在所述第一盒体本体和所述固定卡套之间，并且暴露出所述第一盒体本体的朝向所述第二盒体一侧的表面。

4.根据权利要求2所述的近空间升华装置，其特征在于，形成所述第一盒体的材料包括导热金属。

5.根据权利要求1所述的近空间升华装置，其特征在于，所述第一盒体和所述第二盒体之间的距离为5～6cm。

6.根据权利要求1所述的近空间升华装置，其特征在于，所述冷却单元进一步包括：

冷阱，所述冷阱设置在所述腔体的外部，所述冷阱和所述冷却管相连通，所述冷阱用于向所述冷却管供给冷却气体。

7.根据权利要求6所述的近空间升华装置，其特征在于，所述冷却单元进一步包括气体流量计，所述气体流量计用于测量从所述冷阱进入所述冷却管的所述冷却气体的流量。

8.根据权利要求1所述的近空间升华装置，其特征在于，还包括：相对设置的第一盒体滑道和第二盒体滑道，所述第一盒体滑道和所述第二盒体滑道相平行，所述第一盒体设置在所述第一盒体滑道上，所述第一盒体可沿着所述第一盒体滑道滑动；所述第二盒体设置在所述第二盒体滑道上，所述第二盒体可沿着所述第二盒体滑道滑动。

9.根据权利要求1所述的近空间升华装置，其特征在于，形成所述衬底基板的材料包括导电玻璃，形成所述第二盒体的材料包括石墨，形成所述第一盒体的材料包括铝。

10.根据权利要求1所述的近空间升华装置，其特征在于，所述第一盒体上设置第一测温元件，所述第二盒体上设置有第二测温元件。