[实用新型]用于类单晶硅铸锭的坩埚装料结构有效
申请号: | 201922262242.9 | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN211339731U | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 王全志;陈伟;李林东;唐珊珊;陈志军 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;包头阿特斯阳光能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 胡彭年 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种用于类单晶硅铸锭的坩埚装料结构。所述装料结构包括坩埚本体、设置于坩埚本体内的籽晶层、设置于籽晶层上方的硅片保护层、设置于硅片保护层上方且采用直径不大于5mm的小颗粒硅料铺设形成的缓冲层以及设置于缓冲层上方的碎硅料。本实用新型通过在籽晶层上面设置硅片保护层和缓冲层,平衡缓解上方碎硅料的压力,避免籽晶层表面受到碎硅料挤压造成的初始缺陷。 | ||
搜索关键词: | 用于 单晶硅 铸锭 坩埚 装料 结构 | ||
【主权项】:
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