[实用新型]一种研磨片清洗装置有效

专利信息
申请号: 201922260301.9 申请日: 2019-12-17
公开(公告)号: CN211160947U 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 栾国旗 申请(专利权)人: 天津美芯电子科技有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300352 天津市津南区葛沽镇滨海*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型创造提供了一种研磨片清洗装置,包括清洗箱,在清洗箱上竖直设有吊杆,该吊杆由清洗箱顶部的驱动机构驱动旋转;所述吊杆上设有不同高度的数个液平布置的挂杆;每一所述挂杆上均间隔的设有数个分隔槽;所述清洗箱侧壁上对应吊杆设有清洗组件;所述清洗组件包括清洗箱内壁设置的喷头,以及为喷头供液的储液箱,所述储液箱通过回液管与清洗箱底部连接,通过供液管与喷头连接,在供液管上设有供液泵。本实用新型创造提供的清洗装置结构设计合理,研磨片可以方便的挂在挂杆的分隔槽内,通过吊杆的转动,喷头喷射的清洗液可充分彻底的对研磨片进行清洗,达到了更佳的清洗效果。
搜索关键词: 一种 研磨 清洗 装置
【主权项】:
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