[实用新型]一种研磨片清洗装置

权利要求书

1.一种研磨片清洗装置，其特征在于：包括清洗箱，在清洗箱上竖直设有吊杆，该吊杆由清洗箱顶部的驱动机构驱动旋转；所述吊杆上设有不同高度的数个液平布置的挂杆；每一所述挂杆上均间隔的设有数个分隔槽；所述清洗箱侧壁上对应吊杆设有清洗组件；所述清洗组件包括清洗箱内壁设置的喷头，以及为喷头供液的储液箱，所述储液箱通过回液管与清洗箱底部连接，通过供液管与喷头连接，在供液管上设有供液泵。

2.根据权利要求1所述的一种研磨片清洗装置，其特征在于：所述分隔槽为深度3-5mm的环槽。

3.根据权利要求1所述的一种研磨片清洗装置，其特征在于：所述储液箱低于所述清洗箱所在水平面，在储液箱上还设有补液口。

4.根据权利要求1所述的一种研磨片清洗装置，其特征在于：所述喷头设有数个，各喷头分别安装在清洗箱内壁的不同位置。

5.根据权利要求1所述的一种研磨片清洗装置，其特征在于：所述驱动机构采用伺服电机。

6.根据权利要求1所述的一种研磨片清洗装置，其特征在于：所述挂杆设有4-8根，每一挂杆上设有3-5个分隔槽。

7.根据权利要求1所述的一种研磨片清洗装置，其特征在于：所述挂杆可拆卸的安装在吊杆上。

8.根据权利要求7所述的一种研磨片清洗装置，其特征在于：所述挂杆为长度可调的伸缩式结构。