[实用新型]一种用于立式蒸发溅射镀膜设备的测量载具有效
| 申请号： | 201922246016.1 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN211170878U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 刘林;蒋继文;张宽翔;王宝玉 | 申请（专利权）人： | 凯盛光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/34;C23C14/24 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种用于立式蒸发溅射镀膜设备的测量载具，包括矩形框，矩形框顶边与底边分别设有上导轨与下导轨，上导轨与下导轨分别与镀膜腔室内的传输滚轮形成配合；矩形框内设有安装背板，安装背板的一侧设有竖直的转轴，转轴连接有竖直的芯片挡板，芯片挡板的两侧板面分别设有一组芯片容置槽，芯片容置槽呈U形；安装背板的板面设有两个锁定器，两个锁定器分别位于转轴两侧，锁定器能够对芯片挡板的侧边形成锁定配合；本载具能够解决在一套设备内同时使用蒸发与镀膜两种工艺而无法单独测量膜层成份原子比的问题,并且无需关闭蒸发源及溅射电源，实现随时在线取样，线下测量的功能，提高生产稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 立式 蒸发 溅射 镀膜 设备 测量 | ||
【主权项】：
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