[实用新型]一种薄膜微压力传感器有效

专利信息
申请号: 201922244791.3 申请日: 2019-12-13
公开(公告)号: CN210862999U 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 孙坤;徐锋;李泽峰 申请(专利权)人: 湃瑞电子科技(苏州)有限公司
主分类号: G01L1/22 分类号: G01L1/22
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 王闯
地址: 215000 江苏省苏州市工*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种薄膜微压力传感器,属于压力传感器技术领域。所述薄膜微压力传感器包括相对设置的至少一对膜片,两个膜片的相对面上分别设有QTC材料和探测电极;其中一个膜片可形变、另一个膜片不可形变;可形变的膜片连接有力传导单元,所述力传导单元包括容腔及填充在其中的灌充液;所述力传导单元用于接受外力按压,并将外力传导至可形变的膜片,以使可形变的膜片以连接点为中心产生形变,进而使两个所述膜片相互贴紧或远离。本实用新型利用液体传导各向同性的属性,即便手指作用在传感器膜片的不同位置,或者手指以不同姿势作用在传感器膜片上,都能在灌充液的作用下实现均匀传导的效果,确保测量的准确性和一致性。
搜索关键词: 一种 薄膜 压力传感器
【主权项】:
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