[实用新型]一种薄膜微压力传感器

权利要求书

1.一种薄膜微压力传感器，其特征在于，包括相对设置的至少一对膜片，两个所述膜片的相对面上分别设有QTC材料和探测电极；其中一个所述膜片设置为可形变的，另一个膜片设置为不可形变的；所述可形变的膜片还连接有力传导单元，所述力传导单元包括一封闭的容腔及填充在其中的灌充液；

所述力传导单元用于接受外力按压，并将外力传导至所述可形变的膜片，以使所述可形变的膜片以连接点为中心产生形变，进而使两个所述膜片相互贴紧或远离。

2.如权利要求1所述的薄膜微压力传感器，其特征在于，还包括传感器本体，所述传感器本体的至少一侧设有内腔、外腔及连通二者的通道；

所述膜片设置在所述内腔中；所述力传导单元设置在所述内腔、所述通道及所述外腔三者形成的连通腔体中。

3.如权利要求2所述的薄膜微压力传感器，其特征在于，所述不可形变的膜片贴附在所述内腔的底壁上，所述底壁为刚性壁；

所述可形变的膜片悬空设置在所述内腔中，且所述可形变的膜片的边缘与所述内腔的内侧壁密封连接；

所述外腔的开口处设有一弹性膜，所述弹性膜的边缘与所述外腔的内周壁密封连接；

所述弹性膜与所述可形变的膜片之间的封闭腔体形成所述容腔。

4.如权利要求2所述的薄膜微压力传感器，其特征在于，所述可形变的膜片贴附在所述内腔的底壁上，所述底壁为柔性壁；

所述不可形变的膜片贴附在所述内腔的顶壁上，所述顶壁设置为向所述底壁的方向凸出的弧形；

所述外腔的开口处设有一弹性膜，所述弹性膜的边缘与所述外腔的内周壁密封连接；

所述弹性膜与所述可形变的膜片之间的封闭腔体形成所述容腔。

5.如权利要求1-4任一项所述的薄膜微压力传感器，其特征在于，所述灌充液为硅油、甘油或任意一种不导电液体。

6.如权利要求1-4任一项所述的薄膜微压力传感器，其特征在于，所述探测电极包括间隔排列的多条导电棒，相邻两条所述导电棒分别连接正极引线和负极引线；全部所述导电棒形成探测区。

7.如权利要求6所述的薄膜微压力传感器，其特征在于，所述探测区为圆形、矩形或任意一种几何形状。

8.如权利要求6所述的薄膜微压力传感器，其特征在于，所述导电棒为碳棒。

9.如权利要求2所述的薄膜微压力传感器，其特征在于，所述传感器本体呈扁平状，所述通道的轴线垂直于所述传感器本体所在的平面。

10.如权利要求9所述的薄膜微压力传感器，其特征在于，所述通道的数目设为一个，且所述通道位于所述传感器本体的中心轴线上；

或者，所述通道的数目设为多个，且多个所述通道呈中心对称地分布在所述传感器本体的中心轴线周围。