[实用新型]一种一维微镜有效
| 申请号: | 201922194687.8 | 申请日: | 2019-12-09 |
| 公开(公告)号: | CN212276104U | 公开(公告)日: | 2021-01-01 |
| 发明(设计)人: | 马宏 | 申请(专利权)人: | 觉芯电子(无锡)有限公司 |
| 主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08 |
| 代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
| 地址: | 214000 江苏省无锡市滨湖区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种一维微镜,包括:第一器件层和第二器件层,所述第一器件层包括第一固定框架、镜面和驱动杆,所述驱动杆上排布有动梳齿,所述第一固定框架靠近所述驱动杆的一侧设有所述第一静梳齿,所述动梳齿和所述第一静梳齿同一平面内交错排布;所述第二器件层包括第二固定框架,所述第二固定框架设有第二静梳齿,所述第二静梳齿和所述动梳齿垂直方向上交错排布;本实用新型所述动梳齿和所述第一静梳齿组成了平面内梳齿对,所述动梳齿又和所述第二静梳齿组成了垂直方向梳齿对,通过平面梳齿结构和垂直梳齿结构相组合的混合梳齿驱动结构,同时具备了准静态和谐振两种工作模式,适用于多种应用场景,达到“一镜多用”的效果。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 一维微镜 | ||
【主权项】:
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