[实用新型]一种一维微镜

权利要求书

1.一种一维微镜，其特征在于，由SOI晶圆制成，所述SOI晶圆包括：第一器件层(110)和第二器件层(310)，所述第二器件层(310)位于所述第一器件层(110)的下方；

所述第一器件层(110)包括镜面(111)、驱动杆(112)和第一固定框架(113)，所述第一固定框架(113)设置于所述驱动杆(112)四周，所述驱动杆(112)的一端和所述镜面(111)刚性连接，所述驱动杆(112)的另一端向远离所述镜面(111)的方向延伸；

所述驱动杆(112)上排布有动梳齿(114a)，所述第一固定框架(113)靠近所述驱动杆(112)的一侧设有第一静梳齿(114b)，所述动梳齿(114a)和所述第一静梳齿(114b)交错排布；

所述第二器件层(310)包括第二固定框架(311)，所述第二固定框架(311)设有第二静梳齿(314)，所述第二静梳齿(314)和所述动梳齿(114a)垂直方向上交错排布。

2.根据权利要求1所述的一维微镜，其特征在于：

所述动梳齿(114a)包括外梳齿(114m)和内梳齿(114n)；

所述外梳齿(114m)排布在所述驱动杆(112)靠近所述第一固定框架(113)的一侧，所述内梳齿(114n)排布在所述驱动杆(112)远离所述第一固定框架(113)的一侧。

3.根据权利要求2所述的一维微镜，其特征在于：

所述驱动杆(112)的数量为四个，所述驱动杆(112)沿X轴方向设置，其中两个所述驱动杆(112)分布于所述镜面(111)的一侧，另两个所述驱动杆(112)对称分布于所述镜面(111)的另一侧。

4.根据权利要求1所述的一维微镜，其特征在于：所述第一器件层(110)还包括扭转轴(115)，所述扭转轴(115)的一端和所述第一固定框架(113) 相连，所述扭转轴(115)的另一端和所述镜面(111)相连。

5.根据权利要求4所述的一维微镜，其特征在于：所述第一固定框架(113)设有锚点(116)，所述锚点(116)向所述镜面(111)方向延伸有连接杆(117)，所述连接杆(117)的一端和所述锚点(116)相连，所述连接杆(117)的另一端和所述扭转轴(115)相连。

6.根据权利要求5所述的一维微镜，其特征在于：所述第一固定框架(113)上设有第一电隔离槽(118)，所述第一电隔离槽(118)为分隔式电隔离槽。

7.根据权利要求5所述的一维微镜，其特征在于：所述扭转轴(115)靠近所述连接杆(117)的一端设有第一应力缓解槽(119a)，所述扭转轴(115)靠近所述镜面(111)的一端设有第二应力缓解槽(119b)，所述镜面(111)上靠近所述扭转轴(115)的边缘设有第三应力缓解槽(119c)。

8.根据权利要求1所述的一维微镜，其特征在于：

所述第二器件层(310)还包括加固框架(312)，所述加固框架(312)的位置与所述驱动杆(112)的位置相配合。

9.根据权利要求5所述的一维微镜，其特征在于：所述SOI晶圆还包括第一绝缘层(210)、第二绝缘层(410)和衬底层(510)，所述SOI晶圆由所述第一器件层(110)、所述第一绝缘层(210)、所述第二器件层(310)、所述第二绝缘层(410)和所述衬底层(510)从上至下依次堆叠形成；

所述SOI晶圆设有空腔(511)，所述驱动杆(112)、所述镜面(111)、所述扭转轴(115)、所述第一静梳齿(114b)、所述动梳齿(114a)和所述第二静梳齿(314)均位于所述空腔(511)的正上方。

10.根据权利要求9所述的一维微镜，其特征在于：所述衬底层(510)还包括支撑杆(512)，所述支撑杆(512)的位置和所述连接杆(117)的位置相配合，所述支撑杆(512)在的长度小于所述连接杆(117)。