[实用新型]纳米级精度压电驱动线性位移台

摘要

本实用新型公开了一种纳米级精度压电驱动线性位移台，其包括基体、滑轨、驱动座、柔性质量块、压电驱动单元、位置传感器单元和粘滑摩擦组件。柔性质量块和压电驱动单元之间通过球面触头和球形凹面相配合，具有自定位功能，能有效保证受力点不偏离，降低了对于加工精度和装配精度的要求，而且相对传统点接触或平面接触方式增大了接触面积，延长使用寿命；柔性质量块上的平板桥梁部具有弹性功能，能接受一定的形变，有效消除了安装误差对平面接触的影响。另外本实用新型的整体结构简单、紧凑，体积小巧，采用粘滑方式驱动滑轨，无上下摩擦，只存在粘滑运动中的单一摩擦，有效减小了动力损耗及对其他零部件要求，工作稳定性好，适用范围广。