[实用新型]纳米级精度压电驱动线性位移台

权利要求书

1.一种纳米级精度压电驱动线性位移台，其包括基体和通过滑动组件活动设置在该基体上的滑轨，其特征在于：其还包括驱动座、柔性质量块、压电驱动单元、位置传感器单元和粘滑摩擦组件，所述驱动座设置在所述基体内，所述驱动座上设有装配腔，所述柔性质量块和压电驱动单元依次排列设置在装配腔内，该柔性质量块朝向压电驱动单元的侧面上设有球形凹面，并在所述压电驱动单元上设有能顶压在该球形凹面上的球面触头，所述柔性质量块上设有与所述压电驱动单元的驱动方向相垂直的方形开槽，该方形开槽靠近球形凹面一侧设有方块凸起，所述柔性质量块对应方形开槽的上方位置设有与所述压电驱动单元的驱动方向相一致的通槽使所述柔性质量块的顶部形成平板桥梁部，所述平板桥梁部通过粘滑摩擦组件与所述滑轨相连接，所述位置传感器单元设置在基体和滑轨之间位置。

2.根据权利要求1所述的纳米级精度压电驱动线性位移台，其特征在于，所述球面触头通过环氧树脂固定在所述压电驱动单元朝向所述柔性质量块的驱动面上。

3.根据权利要求2所述的纳米级精度压电驱动线性位移台，其特征在于，所述压电驱动单元的另一驱动面与装配腔内壁之间设有绝缘陶瓷片。

4.根据权利要求1所述的纳米级精度压电驱动线性位移台，其特征在于，所述驱动座上设有顶在所述柔性质量块使球形凹面与球面触头紧密接触的预压螺丝。

5.根据权利要求1所述的纳米级精度压电驱动线性位移台，其特征在于，所述驱动座的外侧壁上设有灌胶凹槽，对应灌胶凹槽的内侧位置设有将驱动座贯穿的导向通槽。

6.根据权利要求1所述的纳米级精度压电驱动线性位移台，其特征在于，所述粘滑摩擦组件包括上耐磨片和下耐磨片，所述上耐磨片固定在所述滑轨的底面，所述下耐磨片固定在所述平板桥梁部上。

7.根据权利要求6所述的纳米级精度压电驱动线性位移台，其特征在于，所述平板桥梁部的上表面上设有与所述下耐磨片的外形轮廓相适配的限位凹槽。

8.根据权利要求1所述的纳米级精度压电驱动线性位移台，其特征在于，所述位置传感器单元包括编码器及线性尺，该线性尺设置在所述滑轨的底面，所述编码器对应线性尺的位置设置在基体上。

9.根据权利要求1所述的纳米级精度压电驱动线性位移台，其特征在于，所述基体的底部对应所述柔性质量块的位置设有能顶压在所述驱动座底面的预紧螺丝。

10.根据权利要求1所述的纳米级精度压电驱动线性位移台，其特征在于，所述滑动组件包括滚子保持架和相互交叉排列设置在该滚子保持架上的圆柱滚子。