[实用新型]一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构有效
| 申请号： | 201922129724.7 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN211258214U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 郑锦;吴俊冉;倪明;薛传洲 | 申请（专利权）人： | 南京原磊纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | E05F15/53 | 分类号： | E05F15/53 |
| 代理公司： | 北京专赢专利代理有限公司 11797 | 代理人： | 李斌 |
| 地址： | 211800 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型具体是一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，属于开关领域，包括呈并排设置的供晶圆柜体和顶盖视窗，所述供晶圆柜体和所述顶盖视窗之间安装有气缸部件；进而，气缸部件可实现顶盖视窗开合，区别于传统手动操作，顶盖视窗的打开，关闭，压紧均利用气缸部件自动化完成，减少人工操作，提高效率并安装氮气弹簧作为保护减少安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 供晶圆柜体 顶盖 视窗 气动 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京原磊纳米材料有限公司，未经南京原磊纳米材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922129724.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
