[实用新型]一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构有效
| 申请号： | 201922129724.7 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN211258214U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 郑锦;吴俊冉;倪明;薛传洲 | 申请（专利权）人： | 南京原磊纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | E05F15/53 | 分类号： | E05F15/53 |
| 代理公司： | 北京专赢专利代理有限公司 11797 | 代理人： | 李斌 |
| 地址： | 211800 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 供晶圆柜体 顶盖 视窗 气动 机构 | ||
1.一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，包括呈并排设置的供晶圆柜体（2）和顶盖视窗（7），其特征在于，所述供晶圆柜体（2）和所述顶盖视窗（7）之间安装有气缸部件（1）。
2.根据权利要求1所述的一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述气缸部件（1）的前端固定有固定杆，而在固定杆分别转动固定有一个传动轴（5），传动轴（5）的另一端固定在旋转轴（3）上，旋转轴（3）通过两个呈平行设置的轴承座（4）转动固定在供晶圆柜体（2）上，以及旋转轴（3）上固定有铰链连接块（6），而铰链连接块（6）另一端通过螺丝固定在顶盖视窗（7）上。
3.根据权利要求2所述的一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述传动轴（5）设置呈弧形。
4.根据权利要求2所述的一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述轴承座（4）和供晶圆柜体（2）通过螺丝进行固定。
5.根据权利要求2所述的一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述铰链连接块（6）设置有两个，且呈平行分布。
6.根据权利要求1所述的一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述气缸部件（1）上设有安装座，而安装座转动固定在供晶圆柜体（2）上。
7.根据权利要求6所述的一种供晶圆柜体的顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述气缸部件（1）上设有气缸活塞杆。
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