[实用新型]一种带有双重密封结构沉积室的石墨烯生长装置有效
| 申请号： | 201922124753.4 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN211111068U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 许超;王佳冬;王祥 | 申请（专利权）人： | 厦门捌斗新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 姜海荣 |
| 地址： | 361000 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有双重密封结构沉积室的石墨烯生长装置，包括：沉积室、加热箱、双重密封结构、抽气系统和充气系统；沉积室为两端开口的管体；加热箱密封包裹在沉积室的外侧；双重密封结构的数量为两个，且分别与沉积室的两端开口连通；双重密封结构包括三通阀门、密封管和密封端头；三通阀门的换向口与沉积室连通；密封管的一端开口与三通阀门的出口连通；密封端头密封固定在密封管的另一端开口；抽气系统的数量为两个，且分别与三通阀门的进口密封连通；充气系统与一个三通阀门的进口密封连通。本实用新型克服现有技术在制备一定尺寸的石墨烯时，出现的设备密封性不佳等缺陷，有利于稳定制备高质量大面积石墨烯。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 双重 密封 结构 沉积 石墨 生长 装置 | ||
【主权项】：
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