[实用新型]一种带有双重密封结构沉积室的石墨烯生长装置

权利要求书

1.一种带有双重密封结构沉积室的石墨烯生长装置，其特征在于，包括：沉积室(1)、加热箱(2)、双重密封结构(3)、抽气系统(4)和充气系统(5)；

所述沉积室(1)为两端开口的管体；

所述加热箱(2)密封包裹在所述沉积室(1)的外侧；

所述双重密封结构(3)的数量为两个，且分别与所述沉积室(1)的两端开口连通；所述双重密封结构(3)包括三通阀门(31)、密封管(32)和密封端头(33)；所述三通阀门(31)的换向口与所述沉积室(1)连通；所述密封管(32)的一端开口与所述三通阀门(31)的出口连通；所述密封端头(33)密封固定在所述密封管(32)的另一端开口；

所述抽气系统(4)的数量为两个，且分别与所述三通阀门(31)的进口密封连通；

所述充气系统(5)与一个所述三通阀门(31)的进口密封连通。

2.根据权利要求1所述的一种带有双重密封结构沉积室的石墨烯生长装置，其特征在于，所述沉积室(1)为石英材质的玻璃管。

3.根据权利要求1所述的一种带有双重密封结构沉积室的石墨烯生长装置，其特征在于，所述密封管(32)为石英材质的玻璃管。

4.根据权利要求1所述的一种带有双重密封结构沉积室的石墨烯生长装置，其特征在于，所述抽气系统(4)为带有控制开闭阀门的抽气泵。

5.根据权利要求1所述的一种带有双重密封结构沉积室的石墨烯生长装置，其特征在于，所述充气系统(5)为带有控制开闭阀门的充气泵。

6.根据权利要求5所述的一种带有双重密封结构沉积室的石墨烯生长装置，其特征在于，所述充气系统(5)还具有流量控制阀门。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种带有双重密封结构沉积室的石墨烯生长装置，其特征在于，所述充气系统(5)用于注入惰性气体、或氢气、或甲烷。

8.根据权利要求1所述的一种带有双重密封结构沉积室的石墨烯生长装置，其特征在于，所述沉积室(1)和所述密封管(32)内部均安装有气压传感器。

9.根据权利要求1所述的一种带有双重密封结构沉积室的石墨烯生长装置，其特征在于，所述加热箱(2)内部安装有温度传感器。