[实用新型]一种离子束加工的修正装置有效
| 申请号： | 201922117737.2 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN211208386U | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 王娇 | 申请（专利权）人： | 长春百纳光电子产品有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 王欢 |
| 地址： | 130000 吉林省长*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子束加工的修正装置，涉及离子束加工技术领域，所述修正装置放置在离子源与工件之间，所述修正装置包括支架以及多个修正板，所述支架一侧设置有多个插接座，所述每个修正板的一端设置有插接口，所述修正板的其它位置设置有中空通槽，所述修正板上露出所述支架之外的所述中空通槽形成离子束通道。采用本实用新型，可以提高物理遮挡装置拆装的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 加工 修正 装置 | ||
【主权项】：
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