[实用新型]一种离子束加工的修正装置

说明书

本实用新型公开了一种离子束加工的修正装置，涉及离子束加工技术领域，所述修正装置放置在离子源与工件之间，所述修正装置包括支架以及多个修正板，所述支架一侧设置有多个插接座，所述每个修正板的一端设置有插接口，所述修正板的其它位置设置有中空通槽，所述修正板上露出所述支架之外的所述中空通槽形成离子束通道。采用本实用新型，可以提高物理遮挡装置拆装的效率。

技术领域

本实用新型涉及离子束加工技术领域，特别涉及一种离子束加工的修正装置。

背景技术

等离子体产生后，在有效离子束通道上，离子束的束流密度都是不均匀的，但是在利用离子束进行刻蚀加工时，最理想的状态就是离子束的束流密度均匀，这样，就可以得到均匀性良好的刻蚀效果，这在各种离子束刻蚀技术中都是最为重要的。

传统的获得良好束流密度均匀性的方法有两种，一种是调整离子源的参数与设计结构，使得从离子源引出的离子束均匀，但由于离子束被束缚的磁场本身不均匀，加上离子带电的互斥作用，很难保证从离子源所引出的离子束的绝对均匀，只能是获得相对均匀的离子束，当这种离子源自身离子束均匀性达不到刻蚀要求时，就必须在离子源与刻蚀样品之间建立异型的物理遮挡机构，不断通过调整物理遮挡机构的几何形状，与离子束密度特征进行抵消，在每次设计出物理遮挡装置时，都需要测试刻蚀均匀性，如尚未达到修正效果，就需要针对性的对物理遮挡装置的几何形状进行加工。现有的物理遮挡装置都是采用固定压板与支架螺栓连接进而在两者之间夹住修正板，以此来固定修正板并形成离子束通道，但这种方式不容易拆装修正板，需要至少两个技术人员才能完成，且采用螺栓连接的方式较为繁琐，使得拆装物理遮挡装置的效率降低。

实用新型内容

本实用新型通过修正板上插接口插入支架上插接座，以此来将修正板固定到支架上，露出支架之外的修正板上设置的中空通槽形成离子束通道，解决了现有技术中修正板拆装不方便的问题。

为了实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种离子束加工的修正装置，

所述修正装置放置在离子源与工件之间，所述修正装置包括支架以及多个修正板，所述支架一侧设置有多个插接座，所述每个修正板的一端设置有插接口，所述修正板的其它位置设置有中空通槽，所述修正板上露出所述支架之外的所述中空通槽形成离子束通道。

可选地，所述支架上设置的插接座呈哑铃形状，即所述插接座两侧截面的宽度大于所述插接座中心截面的宽度。

可选地，所述离子束为条形离子束。

可选地，所述修正板为长方形陶瓷板。

可选地，所述支架包括一个安装座和与所述安装座固定连接的框板，所述框板与所述安装座之间设置有三角形的加强筋。

本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：

本实用新型中，通过修正板上插接口插入支架上插接座，将修正板固定到支架上，露出支架之外的修正板上设置的中空通槽形成离子束通道，通过调整插接口插入插接座的深度，可以调整中空通槽露出的面积，进而调整离子束通道的大小，结构简单，制造方便，装置的拆装更换也十分便捷，可灵活组合来满足对离子束的物理遮挡要求，提高了拆装物理遮挡装置的效率，进而提高离子束刻蚀的工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的一种离子束加工的修正装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种离子束加工的修正装置的结构示意图；