[实用新型]真空进样装置

摘要

本实用新型揭示了一种真空进样装置，包括一根用于气液样品输送的进样管，进样管上套设有一个用于将装置整体与超高真空设备系统固定连接的主连接法兰，进样管的两端分别设置有一个用于装置与其他部件固定的部件接头；还包括一个借助部件接头固定连接于进样管一端的储气室，储气室内部嵌设有用于引入气液样品的垫片组件及用于使储气室内的气液样品均匀分布的蝶形进气孔。本实用新型可以将制备好的气液样品均匀地、可重复性地引入到设备真空室的某个特定区域内，从而实现向真空腔体的精确送样，通过这样的方式可以精确地控制进样时间、进样区域以及样品在腔体内分布的均匀性，满足了绝大多数高精度实验的实验需求。