[实用新型]真空进样装置

说明书

本实用新型揭示了一种真空进样装置，包括一根用于气液样品输送的进样管，进样管上套设有一个用于将装置整体与超高真空设备系统固定连接的主连接法兰，进样管的两端分别设置有一个用于装置与其他部件固定的部件接头；还包括一个借助部件接头固定连接于进样管一端的储气室，储气室内部嵌设有用于引入气液样品的垫片组件及用于使储气室内的气液样品均匀分布的蝶形进气孔。本实用新型可以将制备好的气液样品均匀地、可重复性地引入到设备真空室的某个特定区域内，从而实现向真空腔体的精确送样，通过这样的方式可以精确地控制进样时间、进样区域以及样品在腔体内分布的均匀性，满足了绝大多数高精度实验的实验需求。

技术领域

本实用新型涉及一种进样装置，尤其涉及一种可与其他真空设备相配合、共同完成向真空腔体中精确送样的真空进样装置，属于真空科研设备领域。

背景技术

超高真空设备系统是进行超高真空实验中不可或缺的重要硬件基础，其一般由真空泵、真空计、真空腔体及其它元件并借助于真空管道，按一定要求组合而成。以保证在一定的空间内获得并保持特定真空环境、确保某项工艺过程或物理过程在真空系统内实施，在半导体、机械加工、物理、化学、材料和生物科学等各个研究领域都有着广泛的应用。

具体而言，在科学实验的过程中，最为常见的一种实验需求是向设备的真空腔体整体或局部空间内注入特定量的气体或液体样品分子。为了满足上述实验需求，目前市面上常见的超高真空设备系统，大多都利用微漏阀，将制备好的高纯样品引入到设备的真空室中，但此种方法一般仅适用于向腔体内部整体注入某种气液样品并且不要求该气液样品在腔体内均匀分布的情况，在一些高精度实验，如程序升温脱附（TPD）实验中，就很难进行应用。同时利用这一方式注入气液样品，其进量不易确定、操控可控性低，整体的实验重复性较差。

针对实验过程中遇到的上述问题，如何在现有设备的基础上提出一种全新的真空进样装置，从而将制备好的气液样品均匀地、可重复地引入到设备真空室的某个特定区域，以满足高精度实验的需求，就成为本领域内技术人员所亟待解决的问题。

发明内容

鉴于现有技术存在上述缺陷，本实用新型的目的是提出一种真空进样装置，具体如下。

所述真空进样装置包括一根用于气液样品输送的进样管，所述进样管上套设有一个用于将装置整体与超高真空设备系统固定连接的主连接法兰，所述进样管的两端分别设置有一个用于装置与其他部件固定的部件接头；还包括一个借助所述部件接头固定连接于所述进样管一端的储气室，所述储气室内部嵌设有用于引入气液样品的垫片组件及用于使所述储气室内的气液样品均匀分布的蝶形进气孔。

优选地，还包括一个用于将装置整体与其他相关的设备进行连接拓展的副连接法兰，所述副连接法兰连接有一根进样支管，所述进样支管与所述进样管相连通。

优选地，所述垫片组件包括一张微孔垫片及一张微通道板，所述微孔垫片设置于所述储气室内靠近所述进样管的一侧，所述微通道板设置于所述储气室内远离所述进样管的一侧。

优选地，所述储气室的头部借助所述部件接头与所述进样管的一端固定连接，所述微孔垫片嵌设于二者连接位置的中间，所述微孔垫片上通过激光打孔开设有一微孔，所述微孔的直径为5mm~9mm。

优选地，所述储气室的尾部连接有一固定螺母，所述微通道板借助所述固定螺母固定安装于所述储气室的尾部。

优选地，所述蝶形进气孔位于所述微孔垫片及所述微通道板二者之间，所述蝶形进气孔固定安装于所述储气室内腔的根部位置。

优选地，所述进样管的一端为装置连接端、另一端为设备连接端，所述进样管的装置连接端与所述储气室固定连接，所述进样管的设备连接端与多路独立进气系统内的气动控制部分固定连接。

优选地，所述多路独立进气系统的气动控制部分内设置有多个气动阀，所述气动阀两两为一组，每组两个所述气动阀之间通过三通接头相连通，所述三通接头与所述进样管的设备连接端固定连接。