[实用新型]一种半导体刻蚀机预装腔用双工位托盘支架

摘要

本实用新型公开了一种半导体刻蚀机预装腔用双工位托盘支架，包括支架、工位和托盘，所述支架的顶部通过轴承套转动连接有齿轮盘，所述齿轮盘的底部安装有贯穿支架的旋盘，所述支架的顶部对称滑嵌有两组工位，且两组工位的外部靠近齿轮盘的一侧均固定连接有齿条，所述两组工位的顶部均设置有托盘。本实用新型中，首先，采用组合可调式结构，便于双工位之间间距的调节处理，既便于托盘的调节放置处理，同时也提升了托盘支架的适用性，其次，内部设置有装夹结构，当托盘放置在工位上时，可将托盘进行装夹处理，降低了托盘在工位上受力横移和晃动现象的产生，从而提升了托盘放置的稳定性。