[实用新型]一种托盘传送机构

摘要

本实用新型公开了一种托盘传送机构，它安装在真空腔体内，它包括：两组支撑底座，两组所述支撑底座间隔设置在所述真空腔体内；加热/冷却结构，所述加热/冷却结构设置于所述真空腔体内且支撑在所述支撑底座上；两排支撑单元，每排支撑单元包括间隔且对齐设置的多根支撑杆，所述支撑杆可升降地贯穿所述支撑底座并延伸至所述真空腔体外；两排密封单元，每排密封单元包括与所述支撑杆一一对应的多个密封结构；两组传送结构，两组所述传送结构对应安装在所述密封基板上，用于支撑和输送托盘。这样能够使得托盘支撑在加热/冷却结构上或者离开加热/冷却结构，实现接触式加热或者冷却并能够保证真空腔体的真空度。