[实用新型]一种托盘传送机构

权利要求书

1.一种托盘传送机构，它安装在真空腔体（1）内，其特征在于，它包括：

两组支撑底座（2），两组所述支撑底座（2）间隔设置在所述真空腔体（1）内；

加热/冷却结构（3），所述加热/冷却结构（3）设置于所述真空腔体（1）内且支撑在所述支撑底座（2）上；

两排支撑单元，每排支撑单元包括间隔且对齐设置的多根支撑杆（6），所述支撑杆（6）可升降地贯穿所述支撑底座（2）并延伸至所述真空腔体（1）外；

两排密封单元，每排密封单元包括与所述支撑杆（6）一一对应的多个密封结构（5），所述密封结构（5）对应安装在所述支撑底座（2）上且位于所述加热/冷却结构（3）的两侧，包括端部固定在所述支撑底座（2）上且套在所述支撑杆（6）外的波纹管（53）、安装在所述波纹管（53）另一端部且与所述支撑杆（6）相连接的密封基板（54）、套在所述支撑杆（6）上且位于所述真空腔体（1）外的密封套（52）以及设置于所述真空腔体（1）和所述密封套（52）之间且与所述支撑杆（6）相配合的垫片（51）；

两组传送结构（4），两组所述传送结构（4）对应安装在所述密封基板（54）上，用于支撑和输送托盘。

2.根据权利要求1所述的托盘传送机构，其特征在于：所述传送结构（4）包括安装在所述密封基板（54）上的底座（41）、穿设在所说底座（41）上且水平设置的多根传动轴（43）、可转动地安装在每根所述传动轴（43）端部的输送滚轮（42）、安装在每根所述传动轴（43）另一端部的传动齿轮（44）以及安装在所述传动齿轮（44）上的传动链。

3.根据权利要求1所述的托盘传送机构，其特征在于：所述加热/冷却结构（3）包括对应支撑在两组所述支撑底座（2）上表面的支撑板（32）以及安装在所述支撑板（32）上的加热/冷却平台（31）。