[实用新型]一种改进的刻蚀机压板有效
| 申请号： | 201922025599.5 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN211507565U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 高志祥;张涛;石卫 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 严海晨 |
| 地址： | 210028 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本实用新型涉及一种改进的刻蚀机压板，增加了压板的厚度，减小压板孔面积。其结构包括固定孔、防错装置、定位孔、压板孔；所述刻蚀机压板上端和下端分别设有固定孔，固定孔通过螺丝与载盘连接，侧端设有防错装置，左侧和右侧分别设有定位孔，定位孔与载盘中的定位销连接；刻蚀机压板表面设有多个压板孔，所述压板孔厚度大于0.5mm，压板孔单孔面积小于4.04 mm |
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| 搜索关键词： | 一种 改进 刻蚀 压板 | ||
【主权项】：
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