[实用新型]一种磁控溅射真空镀膜机有效
| 申请号： | 201921984471.5 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN210916237U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 宋泳东 | 申请（专利权）人： | 青岛达跃钛金不锈钢智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射真空镀膜机，包括控制箱，控制箱的上表面后侧固定安装后罐体，后罐体的前表面铰接有前罐体，后罐体的前表面上侧固定安装有驱动装置，驱动装置，驱动装置的下侧安装有清理装置，清理装置包括U形架，U形架的下端通过轴承转动安装在后罐体的内部下侧，U形架的外侧固定安装有刮板，刮板的外侧与后罐体、前罐体的内表面紧密贴合，后罐体和前罐体的上表面外侧均匀开设有通孔，通孔从上至下向外倾斜，通孔的内部固定安装有喷头。与现有技术相比，本装置能通过清理装置与驱动装置的配合，对镀膜机腔体内壁粘黏的靶材和杂质进行自动刮除清理，不需人力手动擦拭，提升了清理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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