[实用新型]一种磁控溅射真空镀膜机有效
| 申请号： | 201921984471.5 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN210916237U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 宋泳东 | 申请（专利权）人： | 青岛达跃钛金不锈钢智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 真空镀膜 | ||
1.一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：包括控制箱(1)，所述控制箱(1)的上表面后侧固定安装后罐体(3)，所述后罐体(3)的前表面铰接有前罐体(2)，所述后罐体(3)的前表面上侧固定安装有驱动装置(5)，所述驱动装置(5)的下侧安装有清理装置(4)；
所述清理装置(4)包括U形架(44)，所述U形架(44)的下端通过轴承转动安装在后罐体(3)的内部下侧，所述U形架(44)的外侧固定安装有刮板(43)，所述刮板(43)的外侧与后罐体(3)、前罐体(2)的内表面紧密贴合，所述后罐体(3)和前罐体(2)的上表面外侧均匀开设有通孔(41)，所述通孔(41)从上至下向外倾斜，所述通孔(41)的内部固定安装有喷头(42)。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述驱动装置(5)包括半圆板(52)，所述前罐体(2)的前表面上侧开设有与半圆板(52)匹配的半圆槽(51)，所述半圆板(52)的上表面开设有转轴通孔(53)，所述半圆板(52)的上表面固定安装有防护罩(55)和减速电机(54)，所述防护罩(55)罩接在减速电机(54)的外侧，所述减速电机(54)的输出轴转动安装在转轴通孔(53)的内部，所述减速电机(54)输出轴的下端与U形架(44)固定装配。
3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述前罐体(2)的下表面后侧安装有集料盒(7)，所述集料盒(7)包括出料口(71)，所述出料口(71)的下侧固定安装有外螺管(72)，所述外螺管(72)的外侧螺接有收集盒(73)。
4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述控制箱(1)的内部左侧固定安装有清洗箱(8)和泵(6)，所述清洗箱(8)固定安装在泵(6)的右侧，所述泵(6)通过软管与喷头(42)固定装配。
5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述控制箱(1)、减速电机(54)、泵(6)通过导线电连接，且控制箱(1)与外部电源连接。
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