[实用新型]一种平板式PECVD专用托盘

摘要

本实用新型公开了一种平板式PECVD专用托盘，包括：托盘主体；通口，四个所述通口沿前后方向间隙开设在托盘主体的顶端；十字杆，所述十字杆安装在通口的内腔底端；第一插槽，两个所述第一插槽分别开设在托盘主体的左侧前后两端；第二插槽，所述第二插槽开设在第一插槽的内腔底端；还包括卡紧机构、插块和通孔，两个所述卡紧机构固定安装在托盘主体的上表面左侧前后两端与第一插槽相对应位置。该平板式PECVD专用托盘，可实现相邻的托盘拼接组装在一起，便于根据所需承载硅片的数量对托盘进行逐步拼接扩展，并且部分出现损坏时，可将出现损坏部分拆卸下来进行更换，无需整体更换，避免造成浪费，满足企业的使用需求，有利于广泛推广。