[实用新型]一种平板式PECVD专用托盘

说明书

本实用新型公开了一种平板式PECVD专用托盘，包括：托盘主体；通口，四个所述通口沿前后方向间隙开设在托盘主体的顶端；十字杆，所述十字杆安装在通口的内腔底端；第一插槽，两个所述第一插槽分别开设在托盘主体的左侧前后两端；第二插槽，所述第二插槽开设在第一插槽的内腔底端；还包括卡紧机构、插块和通孔，两个所述卡紧机构固定安装在托盘主体的上表面左侧前后两端与第一插槽相对应位置。该平板式PECVD专用托盘，可实现相邻的托盘拼接组装在一起，便于根据所需承载硅片的数量对托盘进行逐步拼接扩展，并且部分出现损坏时，可将出现损坏部分拆卸下来进行更换，无需整体更换，避免造成浪费，满足企业的使用需求，有利于广泛推广。

技术领域

本实用新型涉及PECVD技术领域，具体为一种平板式PECVD专用托盘。

背景技术

PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜，为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积。

在平板式PECVD中常常需要使用专用的托盘承载硅片，但现有的平板式PECVD专用托盘通常为一体结构，托盘长时间使用出现损坏时，只能进行整体更换，十分的浪费，并且不能根据所需承载硅片的数量对托盘进行扩展，无法满足企业的使用需求，不利于广泛推广。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种平板式PECVD专用托盘，以至少解决现有技术中托盘出现损坏时需要整体进行更换和不能根据所需承载硅片的数量对托盘进行扩展的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种平板式PECVD专用托盘，包括：

托盘主体；

通口，四个所述通口沿前后方向间隙开设在托盘主体的顶端；

十字杆，所述十字杆安装在通口的内腔底端；

第一插槽，两个所述第一插槽分别开设在托盘主体的左侧前后两端；

第二插槽，所述第二插槽开设在第一插槽的内腔底端；

还包括卡紧机构、插块和通孔，两个所述卡紧机构固定安装在托盘主体的上表面左侧前后两端与第一插槽相对应位置，与所述第一插槽相匹配的两个所述插块分别固定安装在托盘主体的右侧前后两端与第一插槽相对应位置，所述通孔开设在插块的顶端中心位置。

优选的，所述第二插槽的内腔直径和通孔的内腔直径相同。

优选的，所述卡紧机构包括：空心块，两个所述空心块固定安装在托盘主体的上表面左侧前后两端与第一插槽相对应位置；插板，所述插板沿上下方向插接在空心块的内腔；插柱，所述插柱固定安装在插板的底端中心位置；连接杆，所述连接杆固定安装在插板的顶端中心位置，且连接杆的顶端延伸出空心块安装有把拉环；第一弹簧，所述第一弹簧套接在连接杆的外壁，且第一弹簧的上下两端分别与空心块和插板固定连接；凹槽，两个所述凹槽分别开设在插板的左右两侧壁面；定位组件，所述定位组件设置在凹槽的内腔；卡槽，两个所述卡槽分别开设在空心块的左右两侧壁面顶端，且卡槽的内腔与空心块的内腔相互连通。

优选的，所述定位组件包括：第二弹簧，所述第二弹簧固定安装在凹槽的内腔内侧；卡块，所述卡块固定安装在第二弹簧的外端，且卡块的外端在第二弹簧的弹力作用下抵在空心块的内壁。

优选的，所述插板的外壁四周与空心块的内壁相贴合。

优选的，所述凹槽的内腔和卡块均呈凸字形配合设置。

优选的，所述插柱的底端依次贯穿空心块、托盘主体和第一插槽延伸至第二插槽的内腔，且插柱贯穿第一插槽并延伸至第二插槽内腔的长度小于卡槽的中心点与凹槽内腔的中心点之间的长度。