[实用新型]一种基板吸附气道结构有效
| 申请号： | 201921951349.8 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN210824383U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 陈健 | 申请（专利权）人： | 深圳市亿昊精密半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 北京众泽信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11701 | 代理人： | 王晓红 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基板吸附气道结构，包括第一气管和第二气管，所述第一气管和第二气管下端活动连接有第一连接件和第二连接件，所述第一连接件和第二连接件下端固定连接有对称的凸型固定盘，所述凸型固定盘与另一凸型固定盘下端活动连接有吸盘，所述第一气管和第二气管上端活动连接有第三连接件，所述第三连接件上端开设有对称的第一安装孔，所述第三连接件上端开设有第一穿孔和第二穿孔。该基板吸附气道结构，第三连接件可以通过拧松或拧紧螺钉根据气管直径进行固定，开关阀调整吸气大小，气管下端的橡胶圈让气管与连接件连接更加紧密，两个吸头与气管可以增加对基板的吸附力，吸盘与连接件结构分解式便于更换零件螺纹连接使安装拆卸轻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 吸附 结构 | ||
【主权项】：
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