[实用新型]一种基板吸附气道结构有效

专利信息
申请号: 201921951349.8 申请日: 2019-11-13
公开(公告)号: CN210824383U 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 陈健 申请(专利权)人: 深圳市亿昊精密半导体设备有限公司
主分类号: B65G47/90 分类号: B65G47/90
代理公司: 北京众泽信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11701 代理人: 王晓红
地址: 518000 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 吸附 结构
【权利要求书】:

1.一种基板吸附气道结构,包括第一气管和第二气管,其特征在于:所述第一气管和第二气管下端活动连接有第一连接件和第二连接件,所述第一连接件和第二连接件下端固定连接有对称的凸型固定盘,所述凸型固定盘与另一凸型固定盘下端活动连接有吸盘,所述第一气管和第二气管上端活动连接有第三连接件,所述第三连接件上端开设有对称的第一安装孔,所述第三连接件上端开设有第一穿孔和第二穿孔。

2.根据权利要求1所述的一种基板吸附气道结构,其特征在于:所述第三连接件前端固定连接有对称的第一方块和第二方块,所述第一方块与另一第一方块内活动连接有对称的第一螺钉,所述第二方块与另一第二方块内活动连接有对称的第二螺钉,所述第一螺钉与另一第一螺钉前端通过第一方块活动连接有对称的第一螺母,所述第二螺钉与另一第二螺钉前端通过第二方块活动连接有对称的第二螺母。

3.根据权利要求1所述的一种基板吸附气道结构,其特征在于:所述第一气管和第二气管前端设置有对称的传输管,所述传输管与另一传输管前端固定连接有对称的第四连接件,所述传输管与另一传输管上端活动连接有对称的开关阀,所述第四连接件的直径比传输管小。

4.根据权利要求1所述的一种基板吸附气道结构,其特征在于:所述第一气管下端固定连接有第一螺纹件,所述第一螺纹件内活动连接有第一橡胶圈,所述第二气管下端固定连接有第二螺纹件,所述第二螺纹件内活动连接有第二橡胶圈。

5.根据权利要求1所述的一种基板吸附气道结构,其特征在于:所述凸型固定盘与另一凸型固定盘内开设有等距分布的第二安装孔,所述第二安装孔与另一第二安装孔内活动连接有等距分布的第三螺钉,所述开设的第二安装孔与第三螺钉数量一致。

6.根据权利要求1所述的一种基板吸附气道结构,其特征在于:所述吸盘内开设有对称的第一凹槽,所述凹槽与另一凹槽外侧吸盘表面等距分布的安装槽,所述凹槽与另一凹槽下端开设有对称的通气孔,所述通气孔下端固定连接有对称的吸头,所述吸头材质为橡胶。

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