[实用新型]多工位自动晶圆检查机

摘要

本实用新型涉及一种多工位自动晶圆检查机，包括工作架、显示器、工作面板、相机、治具、XY移动平台、工作站以及电控箱，所述工作架为上、下两层的矩形架体，所述工作架的下层架体上放置有工作站和电控箱，所述工作架的上层架体的工作面板上表面中部安装有XY移动平台，所述XY移动平台上同轴安装可放置有被测晶圆件的治具，所述相机通过可调节安装架设置在治具上表面中部正上方，所述相机与工作站无线相连，所述工作架顶端还安装有显示器，所述显示器与工作站相连。本实用新型结构合理，便于操作，功能性强，稳定性好，拍摄晶圆全面且检查精准，而且大大降低了检查机的成本。